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12
O valor da energia do
Gap
ótico é determinado pela extrapolação da reta até
a intersecção com o eixo referente à energia do fóton.
Para se determinar o tipo de condução elétrica dos filmes, ou seja, qual o
portador de carga predominante (lacunas para condução tipo-p e elétrons para
condução tipo-n) foram realizadas medidas de efeito Hall. Estas medidas foram
realizadas com a utilização do equipamento BioRad HL5500 do Laboratório de
Filmes Finos do Instituto Militar de Engenharia, IME-RJ, por meio do método de Van
der Pauw.
2.4 Parâmetros de Deposição
As propriedades adquiridas pelos filmes produzidos dependem, sobretudo,
das condições nas quais foram depositados, ou seja, da escolha dos parâmetros de
deposição. Neste trabalho foram estabelecidos os seguintes parâmetros de
deposição:
Concentração de material dopante: 1, 1,5, 2, 2,5 e 3% at. de N.
Fluxo da solução precursora (φ): 2 ml/min
Temperatura do substrato: 400ºC
Distância do bico atomizador: 25 cm
Pressão do gás de arraste: 1,5 kgf/cm
2
Tempo de deposição: 30 minutos
3
RESULTADOS E DISCUSSÃO
3.1 Caracterização Estrutural
Todos os difratogramas de raios X dos filmes de ZnO:N apresentaram
características similares. Na figura 1 é apresentado o difratograma referente ao filme
dopado a 2% at. de N. Foi observado que os filmes são policristalinos e possuem
estrutura hexagonal da wurtzita. Foi possível identificar os seguintes picos